半导体阀块内孔机器人打磨,效果超乎想象!

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  • 更新日期:2020-07-21

摘要:伴随着芯片的集成度越来越高,半导体制造的先进程度也逐渐提升。阀块作为半导体制造设备的一个重要零部件,其精度要求也随着半导体制造要求的提高而提升,工艺加工难度也越大。图

伴随着芯片的集成度越来越高,半导体制造的先进程度也逐渐提升。阀块作为半导体制造设备的一个重要零部件,其精度要求也随着半导体制造要求的提高而提升,工艺加工难度也越大。

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以阀块内孔孔壁和孔底平面打磨为例,阀块内孔孔径较小,对刀具和磨料的要求较高,加工难度大。针对阀门内孔打磨过程中的孔径孝毛刺多、碎屑易造成二次损伤等问题,罗庚机器人设计并制造了电子磁力浮动打磨机站,最终打磨后成品的表面光洁度Ra≤0.01,打磨完成率(按实际打磨面积与计划打磨面积比)达到87%以上,获得了客户的高度认可。

罗庚机器人阀块内孔去毛刺机站模型

机站亮点

1. 微秒级别响应和微米级别精度

该机站采用电子磁力浮动轴超精度控制,配合视觉检测系统,能够在微秒内实时响应位置和力度变化,进行微米级别精度的补偿调整。

2. 多向自由浮动

该机站的电主轴能够在径向和轴向上浮动,实现更复杂的研磨运动轨迹,研磨更均匀。

3. 卓越的打磨效果

最终成品的表面光洁度Ra≤0.01,打磨完成率(按实际打磨面积与计划打磨面积比)达到87%以上。

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